美國Tiger Optics公司推出的T-I MAX系列連續(xù)排放污染物（CEMs）痕量氣體分析儀，采用連續(xù)光腔衰蕩光譜（CW-CRDS）技術，可以ppb級的超高靈敏度測量煙氣中氨氣（NH3）、氟化氫（HF）、氯化氫（HCl）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）和甲烷（CH4）等連續(xù)排放的污染物氣體濃度，即使在不斷變化的環(huán)境條件下可以維持高度的線性、精確度和準確性，并且能在非常長的使用周期內幾乎不需要校準。Tiger Optics T-I MAX X2/X3 是基于 Tiger Optics 新的多光譜平臺開發(fā)的下一代空氣分子污染物（AMC）監(jiān)測儀，該儀器主要用于半導體潔凈室、生物制藥等領域。經過TigerOptics公司改進的連續(xù)光腔衰蕩光譜技術（CW-CRDS），使用性價比更高、功耗更低、分辨率更高的連續(xù)光二極管激光器，能夠大大提高光腔耦合效率，快速重復測量周期。

優(yōu)勢特點

應用CW-CRDS“絕對”測量技術，無需標氣校準

高精確度和靈敏度，無漂移

ppt級超低檢測限

快速響應，對環(huán)境溫度變化不敏感

直觀的用戶界面，易于使用，快速清理，

低成本，免維護

應用可追溯到世界領先的參考實驗室

性能

精密度（1σ @100s，取大值）： ± 0.5% 或 最低檢測限 的 1/3

精準度：讀數的 ± 4

(T10/90 + T90/10)

環(huán)境條件： 10°C 至 40°C，10% 至 90% 相對濕度（非冷凝）

樣品條件： 20°C 時的相對濕度為 30% 至 70% ，25°C 時的相對濕度為 20% 至 50% ，30°C 時的相對濕度為 15% 至 40%

存儲溫度：-10°C 至 50°C

氣體處理系統和條件

濕潤材料： 針對ppt級AMC和快速響應速度進行了優(yōu)化

氣體接頭： 1/4" PFA 世偉洛克? 進、出口

入口壓力： 大氣壓力

出口壓力： 真空（<10 托）

流速： ~3 slpm@1 atm

樣品氣體： 潔凈室空氣、CDA 或 N2

參數