在半導體制造工藝中，生產環(huán)境的潔凈度有著極高要求，即便是納米級的氣態(tài)分子污染物（AMC）也會對制程造成干擾，導致產品良率顯著下降。因此，使用實時在線監(jiān)測系統(tǒng)已成為半導體工業(yè)質量控制體系中至關重要的技術保障環(huán)節(jié)。

傳統(tǒng)的分析方法因涉及冗長的采樣流程與復雜的樣品預處理環(huán)節(jié)，往往無法在短時間內輸出分析數(shù)據(jù)，致使產線無法實現(xiàn)快速響應與工藝調控。而億天凈化AMC化學污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)憑借其ppb級超高靈敏度特性，成為半導體制造環(huán)境實時監(jiān)控的理想解決方案。

AMC化學污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)是什么？

AMC在線監(jiān)測系統(tǒng)可對潔凈區(qū)域中的環(huán)境進行AMC監(jiān)測，配合信號控制箱、監(jiān)測服務器電腦、軟件、泵、多路采樣器以及根據(jù)廠房的實際情況配全相應的數(shù)據(jù)線電源線等輔材，可實現(xiàn)環(huán)境中的AMC實時監(jiān)測顯示、存儲、歷史查看、圖表分析等功能，滿足半導體潔凈廠房環(huán)境數(shù)據(jù)的管理需求。

AMC化學污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)特點與優(yōu)勢

1. 通過監(jiān)測系統(tǒng)對AMC物質濃度監(jiān)測，建立預警系統(tǒng)；

2. 部分監(jiān)測物質檢出限可達ppt級別；

3. 針對RC、CxF、TVOC等物質具備定制化功能；

4. 提供實時在線歷史數(shù)據(jù)查看和數(shù)據(jù)圖標趨勢分析;

5. ESKY公司具備CNAS資質實驗室，可進行數(shù)據(jù)手工校驗;

6. 遠程控制，支持 TCP/IP 以及 485 連接到現(xiàn)有上位機。

AMC化學污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)配置